Description du projet

Présentation

Les microscopes électroniques à balayage (MEB) sont des outils indispensables tant pour la recherche que pour le contrôle qualité des pièces sur les sites de fabrication. Dans ces domaines, les mêmes réglages doivent être effectués à plusieurs reprises pour être en condition d’observation et il est nécessaire d’améliorer l’efficacité du processus.
Avec le JSM-IT510, la nouvelle fonction « Simple SEM™ » permet aux utilisateurs d’automatiser cette opération manuelle répétitive rendant l’observation SEM plus efficace et plus facile.

Nouvelle fonction Simple SEM

La fonction « Simple SEMTM » prend en charge le travail de routine quotidien.

Échantillon : Carte électronique
Tension d’accélération : 15 kV, image du haut : grandissement: × 50, image du grandissement : × 1 000, signal : BE (Backscattered electron = Electrons rétrodiffusés).

Microscope electronique a balayage JEOL JSM-IT510 fonction automatique simple SEM

Vidéo de présentation du JSM-IT510 : introduction des fonctions de « Simple SEMTM »

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Guide Navi

De l’insertion de l’échantillon à l’observation automatique.

1. Suivez le guide « Navi » pour installer l’échantillon

JSM-IT510 Navi insertion de l'échantillon

2. Mise en place des conditions d’observation pendant le pompage du système

MEB JSM-IT510 Navi préparation de l'observation

1 Caméra de navigation en option.
2 Caméra de navigation pour grands échantillons en option. Compatible avec SNS.
3 Caméra dans la chambre en option.

3. Démarrage automatique de l’observation

L’image apparaît dès que le vide est optimal dans la chambre.

Ecran d'observation

Zeromag

Agrandissement de l’image optique1 pour une transition continue vers l’image électronique

La fonction Zeromag simplifie la navigation en offrant une transition transparente de l’image optique à l’image MEB.
L’image optique, l’image électronique et l’interface graphique sont tous liés pour une vue globale des régions analysées.

1 Stage Navigation System (SNS) est nécessaire pour afficher l’image optique.

Observation d'un fossile d'amonite avec la fonction Zeromag du microscope electronique a balayage JSM-IT510
Échantillon : Fossile d’ammonite
Tension d’accélération : 7 kV, signal : BE.

Live Analysis / Live Map*

EDS (Energy Dispersive X-ray) intégré pour obtenir la composition élémentaire en temps réel pendant l’observation.

Live Analysis est une fonction qui affiche le spectre EDS ou les cartographies en temps réel pendant l’observation. Cette fonction facilite la recherche de la zone d’intérêt et délivre une alerte pour les éléments chimiques trouvés dans l’échantillon.

* Live Analysis est une fonction standard pour A (Analyse) / LA (Low Vacuum & Analysis).

Échantillon : Fossile d’ammonite
Tension d’accélération : 15 kV. Agrandissement : ×1 000.

Fonction Live Analysis affiche le spectre EDS, les cartographies en temps réel, pendant l'observation

Analyse simple

L’analyse EDS peut être lancée en 3 clics.

Vidéo de présentation du JSM-IT510 : Introduction des fonctions de Live Map.

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(environ 2 minutes)

Différentes options avancées

Nouveau détecteur d’électrons secondaires hybride à vide partiel LHSED*

Ce nouveau détecteur collecte à la fois des signaux d’électrons et de photons. Il améliore le rapport signal/ bruit et affine la résolution topographique.

* LHSED (Low-vacuum Hybrid Secondary Electron Detector) en option. Le mode LV (Low Vacuum) ou le mode LA (Low Vacuum & Analyse) est également requis.

Fonction Live Analysis affiche le spectre EDS, les cartographies en temps réel, pendant l'observationdetecteur d'electrons secondaires hybride a vide partiel LHSED
Image prise à partir du détecteur LHSED
Échantillon : Plâtre
Tension d’accélération : 7 kV. Grandissement : x10 000. Signal : LV SE

Nouvelle fonction Live 3D*

Les images obtenues par un le nouveau détecteur électrons rétrodiffusés multi- quadrant BE* peuvent être affichées en direct sous forme d’images 3D.
Les images 3D sont réalistes et prennent même en compte les variations topographiques très subtiles des échantillons.

Images obtenues par le detecteur electrons retrodiffuses multi-quadrant BE

Échantillon : Vis
Tension d’accélération : 15 kV. Grandissement : x100. Signal : BE.

Montage

La fonction de montage automatise la collecte d’images sur une grande surface et l’assemblage de ces images en une image globale ultra résolue en nombre de pixels.

image globale d'un fossile d'amonite

Échantillon : Fossile d’ammonite
Tension d’accélération : 15 kV. Grandissement : x150. Signal : BE. Nombre de champ : 13 x 13.

* Stage Navigation System (SNS) est nécessaire pour afficher l’image optique.

Affichage de la poire d’interaction électrons/matière

Cette fonction affiche le volume d’interaction entre les électrons primaires et l’échantillon pour une tension d’accélération choisie et un élément donné. Cette fonctionnalité permet de comprendre d’où vient le signal détecté, de la surface ou de la profondeur de l’échantillon.

poire interaction electrons/matiere

Caractéristiques

Données techniques

La série JSM-IT510 peut être équipée selon 4 configurations : BU (Base Unit) / A (Analyse) / LV (Low Vacuum) / LA (Low Vacuum & Analyse).

BU (Base Unit) : Configuration basique pour l’observation sous vide secondaire
A (Analyse) : EDS intégré au BU (standard)
LV (Low Vacuum) : Configuration à vide partiel (LV) et vide secondaire (HV).
LA (Low Vacuum & Analyse) : EDS intégré à la Configuration vide partiel (LV) et vide secondaire (HV).

JSM-IT510 InTouchScope

CARACTERISTIQUES

DONNÉES TECHNIQUES

‌‌La série JSM-IT510 peut être équipée selon 4 configurations : BU (Base Unit) / A (Analyse) / LV (Low Vacuum) / LA (Low Vacuum & Analyse).
BU (Base Unit) : Configuration basique pour l’observation sous vide secondaire
A (Analyse) : EDS intégré au BU (standard)
LV (Low Vacuum) : Configuration à vide partiel (LV) et vide secondaire (HV).
LA (Low Vacuum & Analyse) : EDS intégré à la Configuration vide partiel (LV) et vide secondaire (HV).

CARACTÉRISTIQUES MEB

Résolution calculée selon la  » gap method  »

Mode vide secondaire ( HV) : 3,0 nm (30 kV), 15,0 nm (1,0 kV)
Mode vide partiel (LV)* : 4,0 nm (30 kV BED)
* Standard dans JSM-IT510LV / LA.

Filament W précentré (3 vis de fixation seulement pas d’alignement sous la binoculaire), alignement du canon entièrement automatique.

0,3 kV à 30 kV

1 pA à 10 μA ou plus

10 à 650 Pa
* Standard dans JSM-IT510LV / LA.

Ajustement du filament, ajustement de l’alignement du canon à électrons
Alignement du faisceau
Focus / astigmatisme / contraste et brillance

Grande platine eucentrique et compucentrique à toutes distances de travail
Grande reproductibilité
X :125 mm, Y :100 mm, Z :80 mm.
inclinaison : -10 à 90°, rotation : 360°
taille d’échantillons 200mm (diam) x80 mm (H)

Montage, Simple SEM, Zeromag, Live 3D, mesure 3D (profil en profondeur), poire d’interaction électrons / matière

Recette (recette standard / recette personnalisée)
Mesure (distance entre 2 points, distance entre lignes parallèles, angle, diamètre etc.)
Guide Navi

Microsoft® Windows®10 64 bits

SMILE VIEW™ Lab

Création de fichier Microsoft® Word
Création de fichier Microsoft®PowerPoint*
* Microsoft® Office doit être installé.

Entièrement automatique, TMP : 1, RP : 1 ou 2*
* Standard dans JSM-IT510LV / LA.

Les caractéristiques de ce produit peuvent changer sans notification.

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What is magnification ?

GALERIE

Métal

Observation d’un échantillon d’acier

Pour les matériaux cristallins, comme les métaux, le contraste (contraste de canalisation) créé par la différence d’orientation des cristaux peut être imagé grâce au détecteur d’électrons rétrodiffusés.

observation d'un echantillon d'acier au microscope electronique a balayage JSM-IT510
Échantillon : Section transversale d’acier haute tension. Tension d’accélération : 5 kV. Grandissement : x500.
Signal : BE ( électrons rétrodiffusés).

polisseur ionique IB-19530CP
Polisseur ionique IB-19530CP*
Cross Section Polisher™ (CP) est conçu pour préparer des surfaces sans artefact de polissage en utilisant un faisceau d’ions Ar qui irradie l’échantillon.
Comparé au fraisage mécanique, ce polisseur ionique peut facilement produire une section transversale fine sans distorsion.

* Vendu séparément.

Observation de la surface de fractures

L’observation de la surface des fractures au microscope électronique à balayage (MEB) est largement réalisée dans l’étude des causes de la rupture et de la croissance des fissures.

Stries produites par rupture de fatigue
Stries produites par rupture de fatigue
Échantillon : Acier inoxydable austénitique. Tension d’accélération : 10 kV. Grossissement : x5 000. Signal : SE.

Fossettes produites par fracture ductile
Fossettes produites par fracture ductile
Échantillon : Acier inoxydable austénitique. Tension d’accélération : 10 kV. Grandissement : x5 000. Signal : SE.

Motif de bonbon produit par fracture intergranulaire
Motif de bonbon produit par fracture intergranulaire
Échantillon : Acier inoxydable austénitique. Tension d’accélération : 10 kV. Grossissement : x5 000. Signal : SE.

Semi-conducteur

Observation des motifs de réserve

Dans la fabrication de semi-conducteurs, il est très important de connaître la qualité de le résine, ce qui peut être vérifié par l’imagerie MEB d’une section transversale du motif. Il est également possible de mesurer la largeur de ligne.

Coupe transversale du motif sur résine
Coupe transversale du motif sur résine (inclinaison à 35°)
Tension d’accélération : 8 kV. Grandissement : x30 000.
Signal : SE.

Motif de réserve écrit sur une plaquette Si
Motif de réserve écrit sur une plaquette Si
Tension d’accélération : 10 kV. Grandissement : x3 000.
Signal : SE.

Motif de réserve écrit sur une plaquette Si
Motif de réserve écrit sur une plaquette Si
Tension d’accélération : 10 kV. Grandissement : x20 000.
Signal : SE.

Inspection des circuits imprimés (PCB)

Le microscope à balayage permet de contrôler la qualité des PCB. L’observation directe des PCB sans pré-traitement est rendue possible par le vide industriel.

Condenseur de puce sur PCB
Condenseur de puce sur PCB
Tension d’accélération : 15 kV. Grossissement : x45.
Signal : Signal mixte.

(électron rétrodiffusé LV : électron secondaire LV = 3:7)

Un logiciel d’analyse d’images* permet de mesurer automatiquement la largeur de ligne.
mesure automatique de la largeur de ligne avec MultiImageTool
* Option. MultiImageTool (produit par SYSTEM IN FRONTIER INC.)

Matière souple / Polymère

Le JSM-IT510 dans des conditions de vide industriel convient à l’observation directe d’échantillons non conducteurs, tels que le polymère superabsorbant et le masque.

Polymère superabsorbant

polymère superabsorbant
Tension d’accélération : 10 kV. Grandissement : x1 000.
Signal : LV SE.

polymère superabsorbant
Tension d’accélération : 10 kV. Grandissement : x1 000.
Signal : LV BE.

masque non tissé
Masque non tissé
Tension d’accélération : 10 kV. Grandissement: x50.
Signal : LV BE
.

masque en uréthane
Masque en uréthane
Tension d’accélération : 10 kV. Grandissement : x50.
Signal : LV BE.

Il est possible d’obtenir une image en électron secondaire (SE) et une image en électrons rétrodiffusés BE simultanément.
L’image SE fournit des informations sur la forme.
L’image BE montre des zones lumineuses indiquant une composition au numéro atomique plus élevée pour cette zone.

Biologie

La forme normale d’un échantillon biologique, tel qu’une cellule ou un micro-organisme, peut être confirmée après une préparation d’échantillon par fixation chimique ou par lyophilisation pour conserver sa forme.

Érythrocytes et leucocytes
Érythrocytes et leucocytes
Tension d’accélération : 3 kV. Grossissement : x7 000.
Signal : SE.

image de microscope électronique : chlorelle
Chlorelle
Tension d’accélération : 3 kV. Grossissement : x15 000.
Signal : SE.

image de microscope électronique : pollen de daphné
Pollen de daphné
Tension d’accélération : 10 kV. Grossissement : x2 000.
Signal : SE.

Webinaires

PA3 – Particle Analysis in SEM with JEOL SEM/EDS (August 3, 2021)
‌‌Dedicated software automates detection and EDS analysis of particles, inclusions or grains and classifies this information based on shape and composition. Compatible across our SEM product line for micro to nano scale solutions.
Principles of Scanning Electron Microscopy – An Overview
‌‌The primary focus of this seminar is to explain the basics of SEM and EDS and the associated benefits thereof.