La technique de diffraction par rétrodiffusion d’électrons (EBSD) est une technique cristallographique microstructurale très puissante permettant de mesurer l’orientation cristallographique de nombreux matériaux, qui peut être utilisée pour déterminer la texture ou l’orientation préférentielle de n’importe quel matériau monocristallin ou polycristallin.
Elle fournit des données précises et quantitatives sur la morphologie et la cristallographie d’un matériau, par exemple la forme, la taille et les relations de voisinage des cristaux, les phases cristallographiques, la texture cristallographique et la distribution des désorientations. Outre la description morphologique des microstructures, cette technique permet la caractérisation cristallographique complète des joints de grains et la quantification des structures de déformation en termes de densités de dislocations géométriques nécessaires.
L’EBSD fournit une image avec une résolution spatiale de ～0,1 μm et une résolution angulaire de ～1°. La plage angulaire acquise par EBSD est de ～20°. Normalement, l’EBSD est réalisée dans un MEB, mais elle peut également être réalisée dans un MET.
Expérimentalement, l’EBSD est réalisée avec un microscope électronique à balayage (MEB) équipé d’un détecteur EBSD comportant au moins un écran phosphorescent, un objectif compact et une caméra CCD ou CMOS. Il est nécessaire de s’équiper d’un bon détecteur mais aussi d’un microscope électronique à balayage ayant des capacités de courant très élevé pour gagner en temps, efficacité et également explorer des nouvelles conditions (par exemple à basse tension). Il est également possible en combinant le mode LDF (large depth of focus) du JSM-IT800 de faire des cartographies grand champ sans déformation optique et sans bouger la platine.
