La profondeur de champ (DOF) ou profondeur focale est la plage de distances pour laquelle l’échantillon (objet) est imagé avec une résolution nette sur le plan de l’image. La profondeur de champ est d’autant plus grande que l’angle d’ouverture du faisceau incidente est faible et d’autant plus petite que le grossissement de l’image est élevé.
L’angle d’ouverture est environ 100 fois plus petit que celui du microscope optique. La profondeur de champ du MEB est donc environ 100 fois plus grand que celui du microscope optique. La figure 1 montre schématiquement la variation de la profondeur de champ lorsque le diamètre de l’ouverture de la lentille de l’objectif est modifié. La figure 2 montre une comparaison d’images MEB prises aux différents DOF déterminés par les différentes tailles d’ouverture de la lentille de l’objectif.
Fig.1 Différence de DOF en fonction du diamètre de l’ouverture de la lentille objectif.
Fig.2. Comparaison de deux images MEB prises aux deux différents DOF déterminés par les tailles d’ouverture de la lentille objectif de 100 μm de diamètre (à gauche) et de 200 μm de diamètre (à droite).
Échantillon : Filament d'une ampoule électrique. Tension d'accélération : 10 kV.
Sur certains modèles de MEB, il existe même une lentille supplémentaire appelée ACL (angle control lens) qui permet de jouer encore plus sur la profondeur de champ.
