Présentation
Le JPS-9030 est équipé d’une nouvelle interface utilisateur qui améliore encore son utilisation et présente également un nouveau design moderne et épuré. Une gestion unique des profils en profondeur a été optimisé.
La source d’ions de gravure de type Kaufman nouvellement développée offre des taux de gravure de 1 nm/min à 100 nm/min (équivalent SiO2), avec une large gamme de réglages. Elle permet d’obtenir des profils en profondeurs adaptés à toutes les applications, qu’il s’agisse de mesures exigeant de la précision ou des processus rapides. Le montage de la source d’ions de gravure de type Kaufman sur la chambre de préparation permet une attaque perpendiculaire à l’échantillon ainsi que l’élimination de la contamination dans la chambre de mesure.
Un nouveau logiciel pour une utilisation plus facile
SpecSurf Ver. 2.0 intègre désormais une interface graphique de type ruban, offrant un environnement convivial dans lequel toutes les opérations peuvent être effectuées en un seul endroit avec la souris. Avec la fonction d’analyse qualitative automatique propre à JEOL, il est possible d’effectuer séquentiellement des analyses qualitatives, quantitatives et d’état chimique pour de multiples points d’acquisition.
Ultra-haute sensibilité de surface
Le JPS-9030 prend en charge les techniques Angle-Resolved XPS (ARXPS) et de Total Reflection XPS (TRXPS). Il est également capable d’effectuer une analyse à ultra-haute sensibilité des surfaces de 1 nm d’épaisseur.
