Présentation

Le JIB-4000Plus est un microscope à faisceau d’ions focalisé utilisé pour la préparation d’échantillons STEM/MET ainsi que la fabrication d’échantillons de section transversale pour l’imagerie MEB.

Il est particulièrement efficace pour des applications telles que l’analyse des défaillances des semi-conducteurs. Le JIB-4000Plus est équipé d’une platine goniométrique latérale pour l’introduction des porte-objets MET directement dans la chambre et d’une platine classique pour les échantillons massifs. Avec une résolution améliorée et un courant de sonde élevé, le système est capable d’acquérir des images à haute résolution et de découpe à grande vitesse. C’est une unité compacte avec des fonctions d’économie d’énergie. Le JIB-4000Plus intègre un canon à ions unique développé en utilisant les technologies JEOL et permettant une préparation rapide des échantillons.

L’introduction directe du porte-objet MET JEOL permet un fonctionnement transparent entre la découpe des échantillons et l’imagerie en MET en passant par l’analyse. Il est aussi possible de préparer des échantillons en section transversale pour l’étude en MEB.

Caractéristiques principales

  • Performances de coupe exceptionnelles avec le meilleur débit de l’industrie
  • Unité compacte
  • Faible tension d’accélération
  • Système de navigation pour une identification rapide des zones d’intérêt

CARACTERISTIQUES

Ga liquid metal ion source

1 to 30 kV (in 5 kV steps)

×60 (for searching for a field)
×200～×300,000

5 nm (at 30 kV)

up to 60 nA (at 30 kV)

12 steps (motor drive)

Rectangle, line, and spot

Bulk-specimen 5 axis goniometer stage
X:±11 mm
Y:±15 mm
Z:0.5 ～ －23 mm
T:－5 ～ ＋60°
R:360°
Maximum specimen size 28 mm dia. (13 mm H)/ 50 mm dia (2 mm H)

  • Gas injection system 2 (IB-02100GIS2)
  • Carbon Deposition Cartridge (IB-52110CDC2)
  • Tungsten Deposition Cartridge (IB-52120WDC2)
  • Platinum Deposition Cartridge (IB-52130WDC2)
  • Side Entry Goniometer Stage (IB-01040SEG)
  • Probe Current Detector (IB-04010PCD)
  • Operation Panel (IB-05010OP)
  • Stage Navigation System (IB-01200SNS)
  • FIB Tip-on Holder (EM-02210)
  • FIB Bulk-Specimen Holder (EM-02220)
  • FIB Bulk-Specimen Holder 1 (EM-02560FBSH1)
  • FIB Bulk-Specimen Holder 2 (EM-02570FBSH2)
  • FE-SEM Specimen Holder Adapter (EM-02580FSHA)
  • Shuttle Retainer (EM-02280)
  • Atmosphere Pick-up System (EM-02230)

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