Présentation
L’IB 19520CCP ou CP Environnementale va permettre de préparer tous les types d’échantillons sensibles à l’Air.
Un vaisseau de transfert permet de préparer l’échantillon sous atmosphère contrôlée, puis de le transférer dans le CP afin de procéder à la découpe ou au polissage ionique. Une fois que le procédé ionique est fini, il est également possible de faire un dépôt de carbone à l’intérieur du CP pour protéger la surface et/ou pour la rendre conductrice. Lorsque l’échantillon est fini d’être préparé il peut être transporté via le vaisseau de transfert (à l’abri de l’action de l’oxygène) du Cross section polisher vers un MEB, une microsonde, ou un FIB JEOL, pour l’observation et l’analyse. L’IB-19520CCP possède aussi un mode cryogénique pour les échantillons nécessitant un refroidissement à la température de l’azote liquide. Les équipements complémentaires comme le polissage de large surface sont également disponibles.
Pour de plus amples informations sur la façon dont l’échantillon est refroidi et réchauffé, sur le vaisseau transfert, sur la tension d’accélération des ions, sur le calcul de la vitesse d’érosion, veuillez contacter nos services : javary@jeol.fr
Applications
Effet du refroidissement
| Normal milling (without cooling) Accelerating voltage 4kV |
Cooled milling (holder temperature -120℃) Accelerating voltage 4kV |
En utilisant le contrôle de température (option)
Échantillon: Wafer de Si
| Normal milling Polissage à T°C ambiante |
Cooling refroidi à -150°C |
Cooling temperature control contrôle de la température à -20°C |
Il apparaît qu’à température ambiante l’agent de liaison est déformé par la chaleur, à -150°C un vide apparaît à l’interface, lorsque la température est contrôlée à -20° il n’y a pas d’artefact.
CARACTERISTIQUES
Les caractéristiques de ce produit peuvent changer sans notification.
