Une image de microscope électronique en transmission à balayage (STEM) est obtenue de la manière suivante : une sonde électronique focalisée de petite taille est balayée sur l’échantillon. L’intensité de l’onde transmise (ou de l’onde diffractée) sortant d’un point de l’échantillon est enregistrée par un détecteur annulaire. Ensuite, les intensités sont affichées sur un écran d’ordinateur sous la forme d’une série de points lumineux qui sont synchronisés avec la sonde électronique. La résolution de l’image STEM est déterminée par le diamètre de la sonde. La méthode STEM comporte deux modes d’observation : le mode champ clair et le mode champ sombre.

Images STEM en champ clair (à gauche) et en champ sombre annulaire (à droite) de particules de catalyseur Pt sur un support en graphite.

Dans une image en champ clair (BF), les particules de Pt apparaissent sombres car les électrons incidents sont diffusés à des angles élevés. Dans une image en champ sombre annulaire (ADF), les particules de Pt apparaissent claires ou présentent un contraste inversé par rapport à l'image BF car les électrons diffusés à des angles élevés sont collectés par le détecteur ADF.