Description du projet

Présentation

L’IB 19520CCP ou CP Environnementale va permettre de préparer tous les types d’échantillons sensibles à l’Air.

Un vaisseau de transfert permet de préparer l’échantillon sous atmosphère contrôlée, puis de le transférer dans le CP afin de procéder à la découpe ou au polissage ionique. Une fois que le procédé ionique est fini, il est également possible de faire un dépôt de carbone à l’intérieur du CP pour protéger la surface et/ou pour la rendre conductrice. Lorsque l’échantillon est fini d’être préparé il peut être transporté via le vaisseau de transfert (à l’abri de l’action de l’oxygène) du Cross section polisher vers un MEB, une microsonde, ou un FIB JEOL, pour l’observation et l’analyse. L’IB-19520CCP possède aussi un mode cryogénique pour les échantillons nécessitant un refroidissement à la température de l’azote liquide. Les équipements complémentaires comme le polissage de large surface sont également disponibles.

Pour de plus amples informations sur la façon dont l’échantillon est refroidi et réchauffé, sur le vaisseau transfert, sur la tension d’accélération des ions, sur le calcul de la vitesse d’érosion, veuillez contacter nos services : javary@jeol.fr

Applications

Effet du refroidissement

Normal milling (without cooling)
Accelerating voltage 4kV
Cooled milling (holder temperature -120℃)
Accelerating voltage 4kV

En utilisant le contrôle de température (option)

Échantillon: Wafer de Si

Normal milling
Polissage à T°C ambiante
Cooling
refroidi à -150°C
Cooling temperature control
contrôle de la température à -20°C

Il apparaît qu’à température ambiante l’agent de liaison est déformé par la chaleur, à -150°C un vide apparaît à l’interface, lorsque la température est contrôlée à -20° il n’y a pas d’artefact.

CARACTERISTIQUES

500 µm (en std) ou plus

11 mm (W) x 10 mm (L) x 2 mm (T) en standard
Certains porte-objets permettent de mettre des échantillons de plus grande dimension (option).

axe X ±10 mm ; axe Y ±3 mm

Mode automatique
Mode intermittent
Mode finition

Écran tactile, caméra

Argon

Porte-objet rotatif (option)

Gauge Penning

Pompe à palettes

545 mm (W) x 550 mm (D) x 420 mm (H), 64 kg

Les caractéristiques de ce produit peuvent changer sans notification.