Un outil pour mieux lire la topographie d’un échantillon pendant l’observation
Les MEB JEOL intègrent une fonction Live 3D permettant la reconstruction tridimensionnelle de la surface de l’échantillon observé. Celle-ci permet d’évaluer rapidement la topographie d’un objet. Cette fonction est particulièrement utile lorsqu’il est difficile d’apprécier la surface de l’échantillon à partir des seules images SED et BED. (Image 1)
Surface d’une brique réfractaire observée en SED
Surface d’une brique réfractaire observée en BED
Image 1 : Il est difficile d’interpréter les images et de savoir si l’on observe des bosses ou des cratères.
Cette technologie utilise les signaux respectifs des quatre segments du détecteur d’électrons rétrodiffusés BED. Chaque segment, compte tenu de sa position, collecte des électrons d’angle différent résultant en un signal caractéristique. (Images 2 & 3)
Schéma des quatre segments du BED
Principe de fonctionnement du Live 3D
Image 2 : Le BED est un détecteur multi-segments permettant la reconstruction 3D.
Cette technologie utilise les signaux respectifs des quatre segments du détecteur d’électrons rétrodiffusés BED. Chaque segment, compte tenu de sa position, collecte des électrons d’angle différent résultant en un signal caractéristique. (Images 2 & 3)
Image 3 : Images respectives des quatre segments du détecteur d’électrons rétrodiffusés.
Chaque segment « voit » la surface de l’échantillon d’un angle différent, résultant en des ombrages caractéristiques.
Une reconstruction 3D générée en direct
La recombinaison des quatre images permet alors la reconstruction tridimensionnelle de l’objet. Le traitement des quatre signaux et la reconstruction 3D qui en résulte sont réalisés en direct, et sont mis à jour à chaque changement du champ de vue. La visualisation peut être faite par rapport à l’image SED/BED ou une échelle de couleur. (Image 4 & Vidéo 1)
Image 4 : Les couleurs froides correspondent à des reliefs négatifs tandis que les couleurs chaudes correspondent à des reliefs positifs.
Vidéo 1 : Visualisation 3D en SED et couleur. Les couleurs froides correspondent à des reliefs négatifs tandis que les couleurs chaudes correspondent à des reliefs positifs.
Combiner Live 3D et Live Map pour une analyse enrichie
Enfin, la fonction Live 3D peut être combinée à la fonction Live Map. Il est donc possible de superposer la cartographie EDS d’un ou plusieurs éléments à la reconstruction 3D de l’échantillon (Image 5 & Vidéo 2). Ces deux fonctions font des MEB JEOL un outil d’analyse complet.
Image 5 : Superposition des fonctions Live 3D (visualisation SED) et Live Map (couleur rouge = Cu et couleur jaune = Zr).
Vidéo 2 : Superposition des fonctions Live 3D et Live Map.
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