LazEdge – système Laser intégré dans un MEB

L’alliance des technologies laser et MEB ouvre de nouvelles perspectives pour réaliser des coupes transversales de grande surface, d’une qualité exceptionnelle au service d’analyses plus fiables, plus rapides et plus précises.
LazEdge associe l’expertise MEB de JEOL à la technologie laser exclusive de Hamamatsu Photonics K.K. pour proposer une solution de découpe laser intégrée directement au cœur de la chambre du MEB.
Développé pour optimiser les workflows d’analyse les plus exigeants, ce système permet d’enchaîner sans rupture la préparation d’échantillons en coupe transversale, l’observation MEB, l’analyse élémentaire et l’analyse EBSD, le tout dans un environnement parfaitement maîtrisé.
Avec LazEdge, les laboratoires bénéficient d’une solution performante, rapide et sécurisée, idéale pour l’analyse d’échantillons métalliques, de batteries sensibles à l’air ou encore de défaillances de semi-conducteurs nécessitant une coupe transversale à haute valeur ajoutée.

JEOL ouvre une nouvelle ère de l’analyse avancée avec un MEB intégrant un laser femtoseconde, conçu pour offrir des coupes transversales d’une qualité exceptionnelle et accélérer les workflows les plus exigeants.

Grâce à son système optique propriétaire fondé sur la modulation spatiale de phase du faisceau laser, LazEdge délivre des coupes transversales de haute qualité tout en réduisant les structures LIPSS (Laser-Induced Periodic Surface Structures). Les laboratoires bénéficient ainsi d’une préparation d’échantillons plus performante, mieux maîtrisée et parfaitement adaptée aux analyses de pointe.

La technologie de protection propriétaire « LazEdge Shield » limite efficacement la dispersion des débris générés lors du traitement.
Les détecteurs, la colonne et les parois de la chambre du MEB restent ainsi propres, garantissant un environnement d’analyse plus maîtrisé, plus fiable et performant.

LazEdge permet d’alterner rapidement dans la chambre du MEB, entre les phases de traitement et d’observation. Le traitement laser seul produit des coupes transversales optimisées pour une analyse EBSD. En couplant et en automatisant le traitement laser avec l’acquisition EBSD il est possible d’obtenir des analyses EBSD 3D plus fluides, plus rapides et plus efficaces.

Il est maintenant possible de traiter de grandes surfaces en un temps réduit, pour un gain de productivité significatif.

Ci-dessous, vous trouverez un exemple d’analyse d’un échantillon métallique réalisée avec LazEdge dans un temps limité pour un analyse à grande échelle.