ACE eye™ – TEM automatisé pour semi-conducteurs

ACE eye™ est un microscope électronique en transmission dédié aux semiconducteurs, offrant une automatisation complète de bout en bout, depuis l’imagerie TEM/STEM jusqu’à l’analyse EDS, grâce à un processus d’analyse programmable.
 La standardisation les conditions de mesure garantit une reproductibilité remarquable, tout en offrant une grande flexibilité d’utilisation.

Ce microscope est équipé d’une correction automatique des aberrations pilotée par l’IA (ASCOR) et d’algorithmes d’automatisation avancés. L’ACE eye™ maintient en permanence des conditions de mesure optimales, assurant ainsi des résultats très précis, le tout en restant indépendant de l’opérateur.

Grâce à des technologies éprouvées et à une conception pensée pour la stabilité à long terme, l’ACE eye™ offre la simplicité d’utilisation et la fiabilité indispensables à l’analyse des semiconducteurs.

• En transformant les conditions et procédures de mesure en recettes standardisées, l’ACE eye™ permet une automatisation complète de bout en bout — de l’imagerie TEM/STEM jusqu’à l’analyse EDS — au sein d’un flux de travail unique, garantissant des résultats stables et indépendants de l’opérateur.
• Le système prend en charge différents niveaux d’automatisation, du mode semiautomatique au mode entièrement automatisé. Cela permet aux utilisateurs de choisir la configuration la plus adaptée à leurs objectifs de mesure et à leurs contraintes opérationnelles.
• Correcteur d’aberrations ASCOR : correction automatique des aberrations pilotée par l’IA. Associée à des algorithmes d’automatisation avancés, cette technologie optimise en permanence les conditions de mesure et maintient des performances maximales à tout moment.

• Les paramètres clés — notamment la mise au point, la correction de l’astigmatisme, l’ajustement de la hauteur d’échantillon, le centrage du faisceau et l’alignement d’orientation cristalline — sont automatiquement contrôlés afin d’assurer des mesures fiables et reproductibles.
• La combinaison d’un piège froid à grande contenance (offrant une autonomie d’environ cinq jours), du logiciel optionnel Automation Center pour mesures automatisées et du module MSP (MultiSPECPORTER) permet un fonctionnement continu sur de longues durées sans intervention, améliorant l’efficacité des mesures et maximisant l’utilisation du système.

• Grâce à une conception robuste, associant un objectif à large gap et le correcteur ASCOR de CEOS, le système assure une intégration stable de l’imagerie haute résolution et de l’analyse EDS haute sensibilité, dans un environnement optimisé pour la caractérisation avancée des semiconducteurs.
• Avec une reproductibilité du grandissement en modes TEM et STEM, le système garantit un positionnement stable et une acquisition fiable des données, y compris lors de mesures longues ou entièrement automatisées.
• Grâce à LogChecker, l’état du système et les conditions externes (champs magnétiques, vibrations, température ambiante et température de l’eau de refroidissement) sont surveillés en continu, garantissant une vision complète de l’environnement de mesure et une stabilité durable.
• L’enceinte de protection autour de la colonne limite l’influence des perturbations externes, renforçant la reproductibilité et la fiabilité des mesures automatisées comme des observations à fort grandissement.

• L’interface intuitive « TEM Center » simplifie le passage de l’observation à la mesure grâce à un pilotage à la souris, offrant un flux de travail efficace quel que soit le niveau d’expérience de l’utilisateur.
• Le logiciel « Automation Center » intègre deux modes, Opérateur et Administrateur, afin d’adapter la configuration et la gestion des opérations aux rôles de chaque utilisateur.
• L’intégration native des caméras Gatan assure un flux de travail continu, de l’acquisition des images jusqu’au stockage des données, permettant une observation à haute productivité avec des résultats fiables.
• Un nouveau porte‑échantillon permet un chargement et un retrait des grilles en un seul geste, simplifiant l’utilisation, réduisant les tâches répétitives et diminuant le temps de préparation.

JEOL a développé un système de transfert d’échantillon directement du FIB (JIB-PS500i) au TEM évitant tout contact direct avec les grilles après préparation. Ce système utilise une cartouche à double inclinaison qui est utilisable dans le FIB et peut se monter sur un porte-objet TEM.
Cette approche allège le travail de l’opérateur tout en réduisant les risques d’endommagement et de contamination des échantillons.

Les principaux avantages sont l’automatisation complète des mesures, la réduction de la dépendance à l’opérateur, la reproductibilité élevée des résultats et l’augmentation de la productivité du laboratoire.

Oui. Son réservoir d’azote liquide à grande capacité, ses fonctions d’automatisation et sa surveillance continue permettent des acquisitions prolongées sans intervention.

ACE eye™ prend en charge l’imagerie MET, STEM et l’analyse EDS dans un workflow automatisé unique.

Grâce à la standardisation des recettes de mesure, à la correction automatique des aberrations et au contrôle automatisé des paramètres critiques du microscope.

Images STEM LAADF

Images STEM HAADF

Cartographie EDS (et count map)