Système d’écriture directe par faisceau d’électrons JBX-A9

Système d’écriture directe par faisceau d’électrons haute précision et haut débit

optimisé pour un fonctionnement fiable, reproductible et compatible avec les exigences industrielles

Optique électronique JEOL éprouvée en environnement industriel, garantissant une stabilité à long terme du faisceau, essentielle pour la tenue des spécifications CD et overlay en production mais également essentielle pour les expériences longue durée, les expositions critiques et la reproductibilité des résultats
Prise en charge de wafers jusqu’à 300 mm, assurant la compatibilité avec les standards FAB et la transposition des développements R&D vers des environnements pré‑production
Interface FOUP disponible en option, permettant l’intégration dans des flux automatisés et la réduction des contaminations et des interventions manuelles
Architecture extensible vers des équipements de procédé (enrobage résine, développement), idéale pour la mise au point et l’optimisation de chaînes de procédé complètes
Faible consommation énergétique, contribuant à la maîtrise des coûts d’exploitation (OPEX) en fonctionnement continu
Interface utilisateur et ergonomie optimisées, permettant une opération robuste et standardisée, indépendante du niveau d’expertise opérateur