Nettoyeur d’échantillon UV
- élimine la contamination lors des observations réalisées avec un microscope électronique
- nettoie les échantillons les accessoires et les outils
- rend la surface de l’échantillon hydrophile
Des zones sombres de contamination peuvent se former progressivement à la surface d’un échantillon lors de l’observation au microscope électronique.
Cette contamination de surface peut masquer la structure réelle de l’échantillon et/ou dégrader la résolution dans la zone contaminée.
Avez-vous déjà vu ce « carré sombre » ? Il apparaît lorsque des contaminants à base d’hydrocarbures présents à la surface de l’échantillon sont irradiés par le faisceau d’électrons, entrainant la formation de dépôts carbonés.
Le nettoyeur UV (Excimer UV cleaner) utilise une longueur d’onde spécifique dans l’Ultra Violet (Xe,172 nm) afin d’éliminer la contamination présente à la surface de l’échantillon. Ce système peut également être utilisé pour hydrophiliser la surface d’un échantillon.
Élimine la contamination pendant l’observation
L’observation de la structure fine de la surface de l’échantillon au microscope électronique à balayage (MEB) nécessite une imagerie à faible tension d’accélération. Dans ces conditions, la contamination en surface peut masquer l’observation de cette structure.
L’observation a été réalisée à un grossissement de 100 000 fois (figure de gauche), puis à un grossissement inférieur de 30 000 fois (figure de droite). Lorsque l’échantillon n’est pas traité (image du haut), la partie observée à un grossissement de 100 000 fois devient plus sombre. Cependant, après avoir été nettoyé avec le nettoyeur Excimer UV cleaner (images du bas ), la contamination causée par l’irradiation d’un faisceau d’électrons est très atténuée car il y a moins de composés hydrocarbonés à la surface de l’échantillon.
Nettoyage des contaminants adhérant à la surface des échantillons
Lorsqu’un échantillon est utilisé ou stocké pendant une longue période, des contaminants s’accumulent en raison des composés organiques présents dans l’environnement.
Le nettoyeur (Excimer UV cleaner) permet d’éliminer les contaminants causés par des substances organiques dans un environnement sec.
Hydrophilisation
Lorsque le nettoyeur Excimer UV cleaner émet des rayons UV, des espèces réactives de l’oxygène sont produites et peuvent former des groupes fonctionnels polaires à la surface, générant une surface hydrophile. Ce traitement de surface constitue un pré-traitement efficace, notamment pour améliorer l’adhésion ou la mouillabilité des échantillons.
Mécanisme de nettoyage des échantillons / Hydrophilisation à l’aide du nettoyeur Excimer UV cleaner
Processus de contamination causé par le faisceau d’électrons
Les hydrocarbures présents à la surface de l’échantillon ainsi que les gaz résiduels sont polymérisés par interaction avec le faisceau d’électrons, puis fixés sur la surface de l’échantillon.
Le carré sombre représente la zone balayée par le faisceau d’électrons, elle-même observée a plus faible grandissement.
Processus de nettoyage
Les composés organiques adhèrent à la surface de l’échantillon.
Les liaisons chimiques entre ces composés organiques à la surface de l’échantillon sont rompues. Par ailleurs, les molécules d’oxygène présentes dans la chambre sont transformées en espèces réactives, telles que de l’ozone et de l’oxygène atomique.
Les composés organiques réagissent alors avec l’ozone et l’oxygène pour former des molécules volatiles telles que CO₂ et H₂O, qui sont évacuées. Il en résulte une surface propre et hydrophile.
La hauteur du plateau à échantillons peut être ajustée pour accueillir des échantillons de grande taille.
