Le multibeam JIB-PS500i offre trois solutions pour faciliter la préparation des échantillons MET.
Le workflow a été développé pour réduire le temps passé de la préparation de l’échantillon à l’observation MET.

JEOL a développé un concept de cartouche à double inclinaison qui peut être utilisée dans le FIB et transférée dans le MET, facilitant ainsi le couplage entre le MET et le FIB. La cartouche peut être fixée au porte-échantillon MET dédié d’une simple pression.

L’OmniProbe 400* (Oxford Instruments) a été choisie pour réaliser des opérations de manipulations précises et fluides lors des prélèvements. Le contrôle de l’OmniProbe 400* est intégré dans le logiciel du JIB-PS500i.

Pour préparer avec précision et efficacité un échantillon MET, il est essentiel de vérifier rapidement la progression de la préparation. Grâce à sa platine à forte inclinaison et à la position idéale des détecteurs dans la chambre, le JIB-PS500i permet une transition fluide entre la préparation FIB et l’imagerie STEM. Les transitions rapides entre le traitement des lames et l’imagerie STEM permettent une préparation efficace des échantillons.

Le JIB-PS500i intègre un système d’automatisation de préparation des lames minces appelé TEM STEMPLING2*. Ce système permet à tout opérateur de préparer automatiquement et avec aisance les échantillons pour le MET.

N’hésitez plus, ne ratez plus l’amincissement final de vos lames minces. Les images MEB de haute qualité vous aident.

Plusieurs détecteurs sont disponibles, notamment le SED standard, l’UED et l’iBED. La sélection du détecteur optimal permet d’observer des images nettes de divers échantillons dans diverses conditions expérimentales.

Un nouveau système de lentille super conique est intégré à la colonne du MEB, ce qui améliore considérablement les performances d’imagerie à faible tension d’accélération. Cette qualité d’imagerie est très utile pour vérifier l’état final de préparation d’une lame mince à l’aide du MEB.

Un détecteur d’électrons rétrodiffusés (RBED)* très petit et rétractable peut être utilisé et ce même avec une forte inclinaison de la platine.

L’imagerie d’une coupe transversale préparée par FIB nécessite à la fois une imagerie de la surface et une imagerie inclinée. Ceci est rendu possible par l’utilisation de divers détecteurs, dont le SED et l’UED, permettant d’obtenir une imagerie MEB en coupe transversale.

Les fonctions d’analyse EDS sont intégrées dans le logiciel de commande principal de l’instrument, ce qui permet d’effectuer une analyse élémentaire de l’échantillon sans changer de logiciel. (Ceci n’est disponible que lorsque l’instrument est équipé d’un JEOL EDS*).

Pour une préparation optimale des échantillons, une préparation FIB plus puissante.

La colonne FIB émet un faisceau d’ions Ga à fort courant (jusqu’à 100 nA).
Ce fort courant est particulièrement efficace pour l’imagerie et la préparation de grandes surfaces.

La colonne FIB a été optimisée pour améliorer considérablement ses performances de traitement à de faibles tensions d’accélération. L’ajout d’un nouveau système de contrôle permet d’obtenir des capacités de découpes fines à haute performance essentielles à la préparation de lamelles de qualité.

Haute flexibilité, grande inclinaison et large goniomètre pour répondre à toutes les exigences.

Le JIB-PS500i est doté d’une grande chambre et d’une nouvelle platine 5 axes, ce qui augmente la plage de mouvement de la platine tout en permettant l’utilisation d’échantillons de grande taille. Cette grande platine permet de traiter et d’imager la surface entière d’un échantillon de 130 mm de diamètre. En outre, il est possible de charger un échantillon d’une hauteur de 80 mm dans la chambre.

Le logiciel AVERT Engine est utilisé pour déterminer la limite de mouvement de l’échantillon en utilisant les modèles 3D du porte-échantillon, de la platine et de l’objet à l’intérieur de la chambre. Ainsi, dans toutes les conditions, l’échantillon ne peut pas rentrer en collision avec le détecteur et la lentille objectif.

La demande pour des appareils permettant de révéler la complexité des nanomatériaux dans leur structure 3D a conduit JEOL à développer ce nouveau multibeam : JIB-4700F. Les axes de développement se sont concentrés autour de la préparation rapide de lames MET, de l’analyse 3D de la nano-structure de tout type de matériaux et de l’érosion de formes géométriques variables.

Le JIB-4700F possède une lentille objectif ultra-conique permettant d’atteindre une résolution de 1,6 nm à 1 keV (résolution calculée par séparation de deux particules d’or : ‘gap method’ par opposition à ‘edge method’). Grâce au canon FEG IN-LENS (brevet JEOL), des courants très importants (300 nA avec une image à la clé !) dans une petite taille de sonde permettent d’explorer les limites spatiales de L’EDS et de l’EBSD en 3D. La nouvelle colonne FIB à ions gallium permet de focaliser une sonde, avec un courant allant jusqu’à 90 nA, pour les procédés ultra-rapide de fabrication ionique de piliers ou de lames minces.

Le dernier axe de développement est la robustesse de ce FIB. En effet, son design a été optimisé pour garantir une stabilité et une fiabilité accrues lors des procédés FIB & MEB.

• Tomographie 3D (BEI, EDS, EBSD).
• Haute résolution en imagerie FIB et MEB.
• Très fort courant pour acquisition rapide de données en FIB et en MEB, pas de compromis !
• Détection simultanée.
• Polyvalent : EDS, EBSD, CRYO, cellule de transfert pour échantillons sensibles à l’air.
• Préparation automatique de lames minces pour le MET.

Les caractéristiques de ce produit peuvent changer sans notification.

Le nouveau CRYO-FIB-SEM intègre une platine cryogénique refroidie à l’azote liquide ainsi qu’un mécanisme de transfert d’échantillons pour les échantillons congelés. Ces intégrations permettent de préparer des échantillons MET tels que des biopolymères, des échantillons biologiques congelés, des matériaux sensibles à la température…

Le mécanisme de transfert d’échantillons est doté d’une fonction de métallisation. Par conséquent, ce CRYO-FIB peut à lui seul réaliser tout le processus de préparation des échantillons MET à partir d’échantillons congelés, en incluant un dépôt de conduction, un film protecteur et la préparation FIB.

En outre, en utilisant la cartouche CRYO ARM de JEOL, il est possible de transférer l’échantillon directement dans le MET CRYO ARM de JEOL après avoir fini la préparation de la lame mince, simplifiant ainsi de processus de préparation et d’analyse.

• Transfert d’échantillons cryogéniques à l’aide de la cartouche CRYO ARM

  Après avoir fixé l’échantillon dans la cartouche, il n’est plus nécessaire de manipuler la grille MET à l’aide d’une pince. Cela permet de faciliter/accélérer le transfert d’échantillons et ainsi de réduire les temps de manipulation.

• Platine cryogénique avec une stabilité accrue

  La système développé pour la conduction thermique sur la platine cryo réduit la dérive et les vibrations de cette dernière, améliorant ainsi la stabilité des échantillons MET.

• Dispositif anticontamination unique développé par JEOL

  Grâce à ce dispositif anticontamination nouvellement développé, la contamination par la glace dans la chambre d’échantillons est réduite. Même lors de la préparation d’échantillons de grande taille, ce dispositif supprime la contamination par la glace la préparation prolongée de grandes quantités d’échantillons, le dispositif supprime la contamination par la glace dans toute la mesure du possible.

Il est possible de définir un workflow en cryo CLEM en utilisant la cartouche du CRYO ARM, une platine corrélative cryogénique développée par Linkam Scientific Instruments* et un microscope optique fabriqué par Nikon Solutions*. Les coordonnées de chaque instrument peuvent être reliées, de sorte que l’orientation et la position de l’échantillon peuvent toujours être identifiées lors du transfert de l’échantillon entre les instruments.