Présentation

Le JSM-7610FPlus intègre un ensemble de détecteurs d’électrons secondaires, d’électrons rétrodiffusés, et peut être équipé avec EDS, WDS, EBSD, Cryo, Cathodo-Luminescence (CL) et bien plus. C’est le MEB haut de gamme pour les nanotechnologies, les sciences des matériaux, la biologie, la cryo-microscopie, la lithographie, et les analyses de composition. La grande chambre objet accepte des échantillons jusqu’à 200 mm de diamètre.

Le MEB FEG JEOL JSM-7610F plus combine deux technologies particulières :

  • une colonne électronique avec une détection à travers la lentille (détecteurs semi-in-lens) avec un filtre en énergie pour des observations de surface a basse tension d’accélération.

détecteurs semi-in-lens
échantillon

  • un nouveau canon à effet de champ Schottky in-lens (Haute Brillance) permettant d'obtenir de très fort courant de sonde a haute et basse tension pour l’analyse chimique rapide à haute résolution.

electron optical system
In-lens schottky FEG
aperture-angle control lens

Ainsi, il peut atteindre l’ultra haute résolution avec une large gamme de courant de faisceau (1pA à plus de 400 nA), couvrant tous types d’applications.
Le JSM-7610F a un grandissement réel de x 1.000.000 avec une résolution de 0,8nm et une stabilité incomparable, permettant l’observation de morphologies d’extrême surface.

MEB à effet de champ JSM-7610FPlus

CARACTERISTIQUES

0,8 nm (15 kV)
1,0 nm (1 kV)
Résolution possible de 0,6 nm (30 kV) en mode STEM
Les résolutions sont calculées par la methode derivative basée sur la norme ISO/TS24597.

x25 à x1.000.000
(en format 120mm x 90mm)

de 0,1 à 30 kV

Émission in-lens garantie 3 ans (brevet JEOL)

de 1 pA à > 400 nA (le courant peut être maintenu plus de 48 heures grâce au brevet de la pointe inséré dans la lentille condenser ('in lens Tip')
400 nA (30 keV), 100 nA (10 keV), 50 nA (3 keV)
stabilité du courant <0,2 %/h

BEI, SEI dans la lentille,
BEI, SEI dans la chambre,
Détecteur LABe (BEI) rétractable,
4 signaux peuvent être affichés simultanément ('Live')

« r-filter » dans la colonne, sélection du signal d'électrons secondaires ou rétrodiffusés

Mode intégré de décélération de faisceau

pour un transfert rapide des échantillons, < 1 min 30 s, tout en gardant un vide poussé dans la chambre

Eucentrique (à toute distance de travail) motorisée 5 axes avec une répétabilité < 1 µm

Consommation en utilisation standard : 1,2 kVA
Mode veille : 1 kVA
Console opératoire à l’arrêt : 0,76 kVA

Canon < 5.10-8 Pa ; Chambre < 1.10-4 Pa

EDS, WDS, CL, RAMAN, EBSD, STEM, LNT, RBEI, LABe, C IR, etc.

Les caractéristiques de ce produit peuvent changer sans notification.

GALERIE