Le détecteur SXES (pour Soft X-Ray Emission Spectrometer) est un spectromètre ultra-haute résolution à la conception innovante pouvant s’ajouter à un MEB ou une EPMA et combinant un réseau de diffraction et une caméra CCD à rayon X ultra-sensible.

Tout comme en EDS, la détection est parallèle, vous pourrez donc analyser plusieurs éléments en même temps. Mais à la différence de l’EDS, le détecteur SXES a une résolution en énergie de 0,3 eV (Fermi-edge, Al-L standard) surpassant même très largement la résolution d’un WDS (8 eV).

Ce détecteur peut aussi bien se monter sur nos microsondes de Castaing (tungstène/LaB6 ou FEG) que sur nos MEB FEG (7100F/7200F/7800F/7900F/IT800/IT810).

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Aperçu du système

Le design innovant du système optique de ce spectromètre imaginé par JEOL permet la mesure simultanée de spectres avec des énergies différentes (pouvant descendre jusqu’à 50 eV), sans déplacer le réseau de diffraction ou même le détecteur (caméra CCD).

In-situ charging/discharging SEM for degradation monitor of ASSB (All Solid-State Battery).

Comparaison du SXES avec l’EDS et le WDS

Exemple du nitrure de titane avec les différentes méthodes de spectrométrie.
Pour le nitrure de titane, les pics de N -Ka et Ti- Ll se chevauchent en EDS. C’est le cas également du WDS, où il est tout de même possible de les différencier par déconvolution mathématique.
Comme illustré dans la figure ci-dessous, seule la résolution en énergie du SXES permet d’observer directement la raie Ti- Ll.

Exemple de l’analyse du lithium dans les batteries Li-Ion

Exemple pour les éléments légers

Les caractéristiques de ce produit peuvent changer sans notification.