Les MEB JEOL intègrent une fonction Live 3D permettant la reconstruction tridimensionnelle de la surface de l’échantillon observé. Celle-ci permet d’évaluer rapidement la topographie d’un objet. Cette fonction est particulièrement utile lorsqu’il est difficile d’apprécier la surface de l’échantillon à partir des seules images SED et BED. (Image 1)

Image 1 : Il est difficile d’interpréter les images et de savoir si l’on observe des bosses ou des cratères.

Cette technologie utilise les signaux respectifs des quatre segments du détecteur d’électrons rétrodiffusés BED. Chaque segment, compte tenu de sa position, collecte des électrons d’angle différent résultant en un signal caractéristique. (Images 2 & 3)

Cette technologie utilise les signaux respectifs des quatre segments du détecteur d’électrons rétrodiffusés BED. Chaque segment, compte tenu de sa position, collecte des électrons d’angle différent résultant en un signal caractéristique. (Images 2 & 3)

Chaque segment « voit » la surface de l’échantillon d’un angle différent, résultant en des ombrages caractéristiques.

La recombinaison des quatre images permet alors la reconstruction tridimensionnelle de l’objet. Le traitement des quatre signaux et la reconstruction 3D qui en résulte sont réalisés en direct, et sont mis à jour à chaque changement du champ de vue. La visualisation peut être faite par rapport à l’image SED/BED ou une échelle de couleur. (Image 4 & Vidéo 1)

Image 4 : Les couleurs froides correspondent à des reliefs négatifs tandis que les couleurs chaudes correspondent à des reliefs positifs.

Vidéo 1 : Visualisation 3D en SED et couleur. Les couleurs froides correspondent à des reliefs négatifs tandis que les couleurs chaudes correspondent à des reliefs positifs.

Enfin, la fonction Live 3D peut être combinée à la fonction Live Map. Il est donc possible de superposer la cartographie EDS d’un ou plusieurs éléments à la reconstruction 3D de l’échantillon (Image 5 & Vidéo 2). Ces deux fonctions font des MEB JEOL un outil d’analyse complet.

Vidéo 2 : Superposition des fonctions Live 3D et Live Map.

L’alliance des technologies laser et MEB ouvre de nouvelles perspectives pour réaliser des coupes transversales de grande surface, d’une qualité exceptionnelle au service d’analyses plus fiables, plus rapides et plus précises.
LazEdge associe l’expertise MEB de JEOL à la technologie laser exclusive de Hamamatsu Photonics K.K. pour proposer une solution de découpe laser intégrée directement au cœur de la chambre du MEB.
Développé pour optimiser les workflows d’analyse les plus exigeants, ce système permet d’enchaîner sans rupture la préparation d’échantillons en coupe transversale, l’observation MEB, l’analyse élémentaire et l’analyse EBSD, le tout dans un environnement parfaitement maîtrisé.
Avec LazEdge, les laboratoires bénéficient d’une solution performante, rapide et sécurisée, idéale pour l’analyse d’échantillons métalliques, de batteries sensibles à l’air ou encore de défaillances de semi-conducteurs nécessitant une coupe transversale à haute valeur ajoutée.

JEOL ouvre une nouvelle ère de l’analyse avancée avec un MEB intégrant un laser femtoseconde, conçu pour offrir des coupes transversales d’une qualité exceptionnelle et accélérer les workflows les plus exigeants.

Grâce à son système optique propriétaire fondé sur la modulation spatiale de phase du faisceau laser, LazEdge délivre des coupes transversales de haute qualité tout en réduisant les structures LIPSS (Laser-Induced Periodic Surface Structures). Les laboratoires bénéficient ainsi d’une préparation d’échantillons plus performante, mieux maîtrisée et parfaitement adaptée aux analyses de pointe.

La technologie de protection propriétaire « LazEdge Shield » limite efficacement la dispersion des débris générés lors du traitement.
Les détecteurs, la colonne et les parois de la chambre du MEB restent ainsi propres, garantissant un environnement d’analyse plus maîtrisé, plus fiable et performant.

LazEdge permet d’alterner rapidement dans la chambre du MEB, entre les phases de traitement et d’observation. Le traitement laser seul produit des coupes transversales optimisées pour une analyse EBSD. En couplant et en automatisant le traitement laser avec l’acquisition EBSD il est possible d’obtenir des analyses EBSD 3D plus fluides, plus rapides et plus efficaces.

Il est maintenant possible de traiter de grandes surfaces en un temps réduit, pour un gain de productivité significatif.

Ci-dessous, vous trouverez un exemple d’analyse d’un échantillon métallique réalisée avec LazEdge dans un temps limité pour un analyse à grande échelle.

L’utilisation d’un MEB FEG n’a jamais été aussi facile qu’avec la série JSM-IT810.

In-situ charging/discharging SEM for degradation monitor of ASSB (All Solid-State Battery).

L’observation MEB et l’analyse EDS peuvent être automatisées en réglant simplement les conditions d’analyse et en sélectionnant les zones à mesurer.

Nous utilisons un échantillon dédié pour effectuer l’étalonnage du grossissement, l’alignement du faisceau et l’étalonnage de l’énergie EDS. Des contrôles réguliers permettent de maintenir l’équipement dans un état optimal.

Notre détecteur BSE multi-segmenté, de type semi-conducteur, est utilisé pour créer une reconstruction 3D en direct sur la surface de l’échantillon. Vous pourrez visualisez l’image 3D en temps réel pour vérifier la topologie de l’échantillon.

L’intégration de l’EDS dans le logiciel de contrôle du microscope permet une utilisation simplifiée. Diverses méthodes d’analyse telles que les pointés, la zone, la cartographie et la ligne peuvent être sélectionnés directement sur l’écran d’observation, ce qui permet de lancer immédiatement une analyse.

Le JCM-7000 intègre trois fonctions innovantes :

• La fonction de Zeromag (observation instantanée) pour une transition en douceur des images du microscope optique aux images du microscope électronique à balayage (MEB),
• La fonction Live Analysis (analyse élémentaire instantanée) pour rechercher les éléments chimiques du tableau de Mendeleïev constitutifs d’une zone d’observation,
• La fonction Live 3D (image 3D instantanée) pour afficher une image 3D reconstituée pendant l’observation par le MEB.

Comparé au microscope optique, JCM-7000 vous permet d’effectuer une analyse plus approfondie, plus rapide et plus détaillée de son échantillon et avec la possibilité d’analyser chimiquement votre échantillon. Ce MEB de table est la solution idéale pour détecter les éléments  étrangers et réaliser un contrôle qualité complet.

Avec Zeromag, le JCM-7000 permet une observation en continue de l’imagerie optique à l’imagerie par MEB. Avec Live Analysis, une analyse élémentaire (chimique) par EDS est réalisée pendant l’observation par MEB.

Facilité à détecter des corps étrangers.
Facilité à identifier la composition des éléments constituant l’échantillon analysé.
Exemple : Analyse d’un corps étranger noir collé à la surface d’un produit alimentaire.

Le JCM-7000 permet une observation des structures de surface détaillées en haute résolution avec une grande profondeur de champ. L’un des avantages de la microscopie électronique sur la microscopie optique est sa très grande profondeur de champ.

Exemple : Analyse d’un corps étranger noir collé à la surface d’un produit alimentaire.

Permet d’agrandir l’image du mode optique pour passer automatiquement à une image électronique !

(durée vidéo : O min. 35 s.)

La visualisation est simple sans pré-traitement pour les échantillons non conducteurs tels que des échantillons biologiques, polymers, céramiques, etc.

Les opérations d’observation par MEB et l’analyse EDS ne sont plus séparées. Lorsque Live Map est sélectionné, vous pouvez vérifier la répartition des éléments chimiques dans la zone observée en temps réel.

Le nouveau détecteur à haute sensibilité et à 4 sections par électrons rétrodiffusés permet de présenter simultanément une image MEB et une image 3D. Pour des échantillons présentant des topographies complexes, leur forme est instantanément déterminée et des informations plus détaillées peuvent également être recueillies.

(durée vidéo : O min. 23 s.)

Plusieurs images et cartographies EDS sont acquises séquentiellement et assemblées pour n’en former qu’une.
Une large zone peut ainsi être facilement analysée.

(durée vidéo : O min. 59 s.)

Le JSM-IT210 de JEOL est le microscope électronique à balayage le plus compact de sa catégorie.

Ce microscope est doté de modes innovants qui simplifient l’acquisition automatique d’images et d’analyses en vous permettant de sélectionner facilement vos zones d’intérêt. Le JSM-IT210 représente la nouvelle génération des microscopes électroniques à balayage, alliant compacité, puissance et automatisation, vous libérant ainsi de la nécessité d’être constamment présent devant l’appareil.

Suivre le mode Specimen Exchange Navi (SNS) pour placer l’échantillon, il s’agit d’un système de navigation par étape. Cet accompagnement élimine le risque d’erreurs humaines et accélère le processus de changement d’échantillon. Il constitue un outil essentiel en maximisant le temps consacré à l’analyse.

*¹ Le système de navigation (SNS) est en option.
*² Le SNSLS est optionnel. Il peut être utilisé en même temps que le SNS.
*³ La caméra dans la chambre d’observation est optionnelle.

* Le système de navigation (SNS, en option) est nécessaire pour l’acquisition d’images optiques.

* Les modèles A (analyse) ou LA ( Low vacuum et analyse) sont requis pour l’analyse de la composition élémentaire avec EDS.

Ce microscope automatise la collecte d’images à de multiples endroits, conditions et grossissements.

Déplacez les positions d’analyse avec précision.

• Analyse rapide

Le détecteur EDS standard de 60 mm² du JSM-IT210 permet d’obtenir une analyse de meilleur qualité en considérablement moins de temps que ne le permettent des détecteurs de surface et donc d’angle solide plus restreint. L’analyse multi-points peut également être réalisée plus efficacement.

• Application aux échantillons sensibles aux dégâts d’irradiation

Un détecteur EDS de petite surface (et donc d’angle solide faible) nécessite un courant important pour l’analyse. Les échantillons sensibles au faisceau d’électrons sont alors endommagés par l’irradiation, ce qui affecte négativement la cartographie élémentaire chimique.

L’EDS de 60 mm² permet d’acquérir une cartographie d’éléments chimiques avec un courant de sonde plus faible.
Cela permet une analyse rapide tout en minimisant les dommages causés par les dégâts d’irradiation.

L’EDS 60 mm² permet d’obtenir une cartographie claire des éléments, même en une minute de mesure.

Les microscopes électroniques à balayage (MEB) sont des outils indispensables tant pour la recherche que pour le contrôle qualité des pièces sur les sites de fabrication. Dans ces domaines, les mêmes réglages doivent être effectués à plusieurs reprises pour être en condition d’observation et il est nécessaire d’améliorer l’efficacité du processus.
Avec le JSM-IT510, la nouvelle fonction « Simple SEM » permet aux utilisateurs d’automatiser cette opération manuelle répétitive rendant l’observation SEM plus efficace et plus facile.

Nouvelle fonction Simple SEM

La fonction « Simple SEM^TM » prend en charge le travail de routine quotidien.

Échantillon : Carte électronique
Tension d’accélération : 15 kV, image du haut : grandissement: × 50, image du grandissement : × 1 000, signal : BE (Backscattered electron = Electrons rétrodiffusés).

_{Cliquez sur le bouton pour débuter la vidéo (2 min. 26).}

Guide Navi

De l’insertion de l’échantillon à l’observation automatique.

1. Suivez le guide « Navi » pour installer l’échantillon

2. Mise en place des conditions d’observation pendant le pompage du système

_{¹ Caméra de navigation en option.
² Caméra de navigation pour grands échantillons en option. Compatible avec SNS.
³ Caméra dans la chambre en option.}

3. Démarrage automatique de l’observation

L’image apparaît dès que le vide est optimal dans la chambre.

Zeromag

Agrandissement de l’image optique¹ pour une transition continue vers l’image électronique

La fonction Zeromag simplifie la navigation en offrant une transition transparente de l’image optique à l’image MEB.
L’image optique, l’image électronique et l’interface graphique sont tous liés pour une vue globale des régions analysées.

_{¹ Stage Navigation System (SNS) est nécessaire pour afficher l’image optique.}

Échantillon : Fossile d’ammonite
Tension d’accélération : 7 kV, signal : BE.

Live Analysis est une fonction qui affiche le spectre EDS ou les cartographies en temps réel pendant l’observation. Cette fonction facilite la recherche de la zone d’intérêt et délivre une alerte pour les éléments chimiques trouvés dans l’échantillon.

_{* Live Analysis est une fonction standard pour A (Analyse) / LA (Low Vacuum & Analysis).}

Analyse simple

L’analyse EDS peut être lancée en 3 clics.

Vidéo de présentation du JSM-IT510 : Introduction des fonctions de Live Map.

^{(environ 2 minutes)}

Différentes options avancées

Nouveau détecteur d’électrons secondaires hybride à vide partiel LHSED*

Ce nouveau détecteur collecte à la fois des signaux d’électrons et de photons. Il améliore le rapport signal/ bruit et affine la résolution topographique.

_{* LHSED (Low-vacuum Hybrid Secondary Electron Detector) en option. Le mode LV (Low Vacuum) ou le mode LA (Low Vacuum & Analyse) est également requis.}

Image prise à partir du détecteur LHSED
Échantillon : Plâtre
Tension d’accélération : 7 kV. Grandissement : x10 000. Signal : LV SE

Nouvelle fonction Live 3D*

Les images obtenues par un le nouveau détecteur électrons rétrodiffusés multi- quadrant BE* peuvent être affichées en direct sous forme d’images 3D.
Les images 3D sont réalistes et prennent même en compte les variations topographiques très subtiles des échantillons.

Échantillon : Vis
Tension d’accélération : 15 kV. Grandissement : x100. Signal : BE.

Montage

La fonction de montage automatise la collecte d’images sur une grande surface et l’assemblage de ces images en une image globale ultra résolue en nombre de pixels.

Échantillon : Fossile d’ammonite
Tension d’accélération : 15 kV. Grandissement : x150. Signal : BE. Nombre de champ : 13 x 13.

_{* Stage Navigation System (SNS) est nécessaire pour afficher l’image optique.}

Affichage de la poire d’interaction électrons/matière

Cette fonction affiche le volume d’interaction entre les électrons primaires et l’échantillon pour une tension d’accélération choisie et un élément donné. Cette fonctionnalité permet de comprendre d’où vient le signal détecté, de la surface ou de la profondeur de l’échantillon.

Données techniques

La série JSM-IT510 peut être équipée selon 4 configurations : BU (Base Unit) / A (Analyse) / LV (Low Vacuum) / LA (Low Vacuum & Analyse).

BU (Base Unit) : Configuration basique pour l’observation sous vide secondaire
A (Analyse) : EDS intégré au BU (standard)
LV (Low Vacuum) : Configuration à vide partiel (LV) et vide secondaire (HV).
LA (Low Vacuum & Analyse) : EDS intégré à la Configuration vide partiel (LV) et vide secondaire (HV).

> Nous contacter pour de plus amples informations

Métal

Observation d’un échantillon d’acier

Pour les matériaux cristallins, comme les métaux, le contraste (contraste de canalisation) créé par la différence d’orientation des cristaux peut être imagé grâce au détecteur d’électrons rétrodiffusés.

_{Échantillon : Section transversale d’acier haute tension. Tension d’accélération : 5 kV. Grandissement : x500.
Signal : BE ( électrons rétrodiffusés).}

Polisseur ionique IB-19530CP*
Cross Section Polisher (CP) est conçu pour préparer des surfaces sans artefact de polissage en utilisant un faisceau d’ions Ar qui irradie l’échantillon.
Comparé au fraisage mécanique, ce polisseur ionique peut facilement produire une section transversale fine sans distorsion.

_{* Vendu séparément.}

Observation de la surface de fractures

L’observation de la surface des fractures au microscope électronique à balayage (MEB) est largement réalisée dans l’étude des causes de la rupture et de la croissance des fissures.

_{Stries produites par rupture de fatigue
Échantillon : Acier inoxydable austénitique. Tension d’accélération : 10 kV. Grossissement : x5 000. Signal : SE.}

_{Fossettes produites par fracture ductile
Échantillon : Acier inoxydable austénitique. Tension d’accélération : 10 kV. Grandissement : x5 000. Signal : SE.}

_{Motif de bonbon produit par fracture intergranulaire
Échantillon : Acier inoxydable austénitique. Tension d’accélération : 10 kV. Grossissement : x5 000. Signal : SE.}

Semi-conducteur

Observation des motifs de réserve

Dans la fabrication de semi-conducteurs, il est très important de connaître la qualité de le résine, ce qui peut être vérifié par l’imagerie MEB d’une section transversale du motif. Il est également possible de mesurer la largeur de ligne.

_{Coupe transversale du motif sur résine (inclinaison à 35°)
Tension d’accélération : 8 kV. Grandissement : x30 000.
Signal : SE.}

_{Motif de réserve écrit sur une plaquette Si
Tension d’accélération : 10 kV. Grandissement : x3 000.
Signal : SE.}

_{Motif de réserve écrit sur une plaquette Si
Tension d’accélération : 10 kV. Grandissement : x20 000.
Signal : SE.}

Inspection des circuits imprimés (PCB)

Le microscope à balayage permet de contrôler la qualité des PCB. L’observation directe des PCB sans pré-traitement est rendue possible par le vide industriel.

_{Condenseur de puce sur PCB
Tension d’accélération : 15 kV. Grossissement : x45.
Signal : Signal mixte.
(électron rétrodiffusé LV : électron secondaire LV = 3:7)}

Un logiciel d’analyse d’images* permet de mesurer automatiquement la largeur de ligne.

_{* Option. MultiImageTool (produit par SYSTEM IN FRONTIER INC.)}

Matière souple / Polymère

Le JSM-IT510 dans des conditions de vide industriel convient à l’observation directe d’échantillons non conducteurs, tels que le polymère superabsorbant et le masque.

Polymère superabsorbant

_{Tension d’accélération : 10 kV. Grandissement : x1 000.
Signal : LV SE.}

_{Tension d’accélération : 10 kV. Grandissement : x1 000.
Signal : LV BE.}

_{Masque non tissé
Tension d’accélération : 10 kV. Grandissement: x50.
Signal : LV BE}.

_{Masque en uréthane
Tension d’accélération : 10 kV. Grandissement : x50.
Signal : LV BE.}

Il est possible d’obtenir une image en électron secondaire (SE) et une image en électrons rétrodiffusés BE simultanément.
L’image SE fournit des informations sur la forme.
L’image BE montre des zones lumineuses indiquant une composition au numéro atomique plus élevée pour cette zone.

Biologie

La forme normale d’un échantillon biologique, tel qu’une cellule ou un micro-organisme, peut être confirmée après une préparation d’échantillon par fixation chimique ou par lyophilisation pour conserver sa forme.

_{Érythrocytes et leucocytes
Tension d’accélération : 3 kV. Grossissement : x7 000.
Signal : SE.}

_{Chlorelle
Tension d’accélération : 3 kV. Grossissement : x15 000.
Signal : SE.}

_{Pollen de daphné
Tension d’accélération : 10 kV. Grossissement : x2 000.
Signal : SE.}