Description du projet

Présentation

Le microscope électronique à balayage JSM-IT800, équipé d’un canon à effet de champ Schottky In-Lens (brevet JEOL) et d’un spectromètre à rayons X à dispersion d'énergie (EDS), présente une nouvelle interface graphique permettant l'acquisition sans interruption de données, depuis l'observation jusqu’à l'analyse élémentaire.
Hautement performant, automatique, le JSM-IT800 améliore l'efficacité du travail de plus de 50% et propose ainsi une expertise à haut débit.

Cette appareil peut être personnalisés selon vos applications et vos besoins. Il permet ainsi de couvrir la totalité des champs scientifique de la biologie aux sciences durs des matériaux.

Le microscope électronique à balayage JSM-IT800 utilise une plateforme facile d’utilisation, le SEM Center, cette plate-forme commune avec une gamme complète de fonctionnalités allant de l’observation en haute résolution à la cartographie élémentaire à grande vitesse. Il comprend le canon à effet de champ Schottky in lens Plus (brevet JEOL), le système de contrôle optique électronique Neo Engine et le système EDS JEOL entièrement intégré. De plus, avec sa lentille hybride de conception innovante, il permet de satisfaire les besoins très divers de tous les utilisateurs (échantillons magnétiques compris).

Il existe deux versions du JSM-IT800 : la version avec lentille hybride (version HL) qui convient aux usages communs des MEB et la version avec lentille super hybride (version SHL) utilisée pour l'observation et l'analyse à une tension d'accélération ultra basse et à la résolution la plus élevée. Un nouveau UHD (détecteur hybride supérieur), détecteur standard pour la version SHL, permet d'obtenir une image de qualité exceptionnelle avec un rapport signal / bruit considérablement amélioré facilitant ainsi l’observation.

De plus, de nouveaux détecteurs d'électrons rétrodiffusés peuvent être intégrés : le détecteur d’électrons rétrodiffusé équipé d’un scintillateur (SBED), et le détecteur multisegments (VBED).
Le scintillateur permet l'acquisition d’une imagerie contrastée de matériaux d’excellente qualité à basse tension d'accélération, tandis que le détecteur VBED permet d’obtenir des images 3D, avec contrastes de topographie et de matériaux en utilisant plusieurs segments.

Canon à effet de champ Schottky in-lens Plus

La pointe In-Lens Schottky Plus brevet JEOL couplée au condensateur à faible aberration (brevet JEOL) permet d'obtenir un faisceau 10 fois plus lumineux sans diminuer la durée de vie de la pointe émettrice. Un courant de sonde unique a cette génération d’appareil est même disponible à basse tension pour des cartographies ultra rapide d'accélération (100 nA à 5 kV). Cela permet à l'utilisateur d'effectuer des observations à haute résolution, une cartographie élémentaire à grande vitesse, des analyses quantitatives pointilleuses, une analyse par diffraction des électrons rétrodiffusés (EBSD) et une analyse par rayons X mous très simplement.

NeoEngine (New Electron Optical Engine)

Le Neo EngineTM, issu de cinq années de recherches JEOL, a reçu un prix de l'innovation, il gère et pilote 20 fois plus de paramètres que les fonctions automatiques des MEB  actuels. Cette avancée dans le domaine de l'Intelligence Artificielle simplifie grandement l'exploitation de l'équipement et le travail de l'opérateur.

AFS - ACB

Avant le réglage de la mise au point automatique

Après ajustement de la mise au point automatique

échantillon : nanoparticules Sn sur carbone.
Tension d’accélération : 15 kV, WD : 2 mm, mode d’observation : BD, détecteur : UED, grossissement : x 200 000.

SEM Center - intégration EDS

Le SEM Center et l’analyse JEOL EDS ont révolutionné l’utilisation des MEB. Le JSM-IT800 comprend aussi un logiciel d’aide pour débutant : Smile Navi (en option)°, un logiciel d’amélioration de l’image en temps réel : LIVE-AI (AI pour intelligence artificielle) facilitant la visualisation de l'image en direct (option) et SMILE VIEW ™ Lab pour générer rapidement des rapports.

SMILE VIEWTM Lab

Option SMILENAVI

SMILENAVI est un outil d’assistance conçu pour les débutants permettant d’effectuer simplement des opérations MEB , en guidant et en éduquant l’opérateur.

Version avec lentille hybride (HL) / Version avec lentille super hybride (SHL)

Les lentilles du JSM-IT800 couple une lentille à champ électromagnétique et une lentille électrostatique, permettant ainsi de réaliser l’observation et l’analyse à haute résolution spatiale de tous types d’échantillons allant des matériaux magnétiques aux isolants en passant par les échantillons biologiques.

UHD (détecteur hybride supérieur)

Le nouveau détecteur UHD, intégré à la version SHL, est 2 fois plus efficace pour collecter les électrons secondaires et permet l’acquisition d’images avec un meilleur rapport signal / bruit, facilitant la prise des images à haute résolution des utilisateurs, même débutants.


Exemple d’observation à haute résolution spatiale avec UHD

échantillon : Particules d’alumine, tension d’accélération : 0,5 kV, mode d’observation : BD, détecteur : UHD. On peut observer une structure fine de quelques nanomètres à la surface de l’échantillon.


échantillon : Aluminium (boehmite), tension d’accélération : 0,3 kV, mode d’observation : BD, détecteur : UHD. On peut clairement observer la structure en feuille à la surface.


échantillon : Nano-fibre de cellulose (CNF), tension d’accélération : 0,2 kV, mode d’observation : SHL, détecteur : UHD + UED (addition de signaux).
échantillon : avec l’autorisation du Pr. Hiroyuki Yano, Institut de recherche for sustainable Humansphere, Université de Kyoto. On peut observer une fibre organique en réduisant les dommages causés par le faisceau d’électrons.

échantillon : Oxyde de cérium, tension d’accélération : 1,0 kV, mode d’observation : SHL, détecteur : UHD.
Échantillon : avec l’autorisation du Pr. Seiichi Takami, Université de Nagoya.

échantillon : Coupe transversale de puce de circuit intégré, tension d’accélération : 5,0 kV, mode d’observation : SHL, détecteur : UHD, UED (mode électrons rétrodiffusés). On peut observer avec le détecteur UHD une image en électrons secondaires et avec le détecteur UED une image par électrons rétrodiffusés en simultanée.

Nouveaux détecteurs d’électrons rétrodiffusés

Le détecteur d’électrons rétrodiffusés à scintillateur (SBED) possède une excellente sensibilité. Il est utilisé pour obtenir une imagerie contrastée de matériaux à basse tension d’accélération. Le détecteur d’électrons rétrodiffusés polyvalent (VBED) permet d’acquérir des images caractéristiques comme les images 3D et la topographie de la surface.

SBED (scintillateur d’électrons rétrodiffusés)
L’utilisation d’un scintillateur améliore la sensibilité et la vitesse de balayage.

échantillon : Coupe ultra-mince du cervelet du rat (contraste inversé), tension d’accélération : 2,0 kV.

échantillon : Encre. Tension d’accélération : 1,5 kV.

échantillon : Plaque de cuivre tension d’accélération : 25 kV.

Imagerie VBED (détecteur d’électrons rétrodiffusés polyvalent)

Le détecteur, un semi-conducteur spécialement développé par JEOL est divisé en 5 groupes, ce qui permet de sélectionner le signal adapté selon le but de l’observation.

Sélection angulaire

échantillon : Scintillateur, tension d’accélération : 3,0 kV.
Selon l’angle des électrons rétrodiffusés, on améliore les informations de composition par le capteur intérieur, alors qu’on améliore les informations topographiques par les capteurs extérieurs. De plus, en comparant les contrastes du corps fluorescent sous le film d’aluminium, on peut étudier les différentes informations liées à la profondeur.

Reconstruction 3D

échantillon : micro-lentille de puce CCD, tension d’accélération : 7,0 kV.
On peut reconstruire les images 3D en utilisant les images 2D obtenues à partir de 4 segments.

CARACTERISTIQUES

VERSION SHL

0,5 nm (15 kV)
0,7 nm (1 kV)
0,9 nm (500 V)
3,0 nm (15 kV, 5 nA, WD 10 mm)

de 0,01 à 30 kV

quelques pA à 500 nA (30 kV)
quelques pA à 100 nA (5 kV)

Canon à effet de champ Schottky In-lens Plus (breveté)

super hybride / SHL

goniomètre eucentrique complet

VERSION HL

0,7 nm (20 kV)
1,3 nm (1 kV)

de 0,01 à 30 kV

quelques pA à 300 nA (30 kV)
quelques pA à 100 nA (5 kV)

Canon à effet de champ Schottky In-lens Plus (breveté)

hybride / HL

goniomètre eucentrique complet

DÉTECTEURS DRYSDTM

Le specifiche di questo prodotto possono cambiare senza preavviso.