Description du projet

MEB-FIB à double colonne

Présentation

La demande pour des appareils permettant de révéler la complexité des nanomatériaux dans leur structure 3D à conduit JEOL à développer ce nouveau multibeam : JIB-4700F. Les axes de développement se sont concentrés autour de la préparation rapide de lames MET, de l’analyse 3D de la nano-structure de tout type de matériaux et de l’érosion de formes géométriques variables.

Le JIB-4700F possède une lentille objectif ultra-conique permettant d’atteindre une résolution de 1,6 nm à 1 keV (résolution calculée par séparation de deux particules d’or : ‘gap method’ par opposition à ‘edge method’). Grâce au canon FEG IN-LENS (brevet JEOL), des courants très importants (300 nA avec une image à la clé !) dans une petite taille de sonde permettent d’explorer les limites spatiales de L’EDS et de l’EBSD en 3D. La nouvelle colonne FIB à ions gallium permet de focaliser une sonde, avec un courant allant jusqu’à 90 nA, pour les procédés ultra-rapide de fabrication ionique de piliers ou de lames minces.

Le dernier axe de développement est la robustesse de ce FIB. En effet, son design a été optimisé pour garantir une stabilité et une fiabilité accrues lors des procédés FIB & MEB.

Caractéristiques principales

  • Tomographie 3D (BEI, EDS, EBSD).
  • Haute résolution en imagerie FIB et MEB.
  • Très fort courant pour acquisition rapide de données en FIB et en MEB, pas de compromis !
  • Détection simultanée.
  • Polyvalent : EDS, EBSD, CRYO, cellule de transfert pour échantillons sensibles à l’air.
  • Préparation automatique de lames minces pour le MET.

CARACTERISTIQUES

FIB (Focused Ion Beam)

Ga liquid metal ion source

de 50x à 1 000 000x

jusqu’à 90 nA

MEB FEG

de 0,1 keV à 30 keV

de 20x à 1 000 000x

1,6 nm (1 keV) Gap method

de 1 pA à > 400 nA

X: 50 mm; Y: 50 mm; Z: De 1.5 à 41 mm; T: -5 to 70°; R: 360°

Les caractéristiques de ce produit peuvent changer sans notification.